電子線マイクロアナライザー (EPMA)

共用機器番号:5
装置名:
EPMA (Electron Probe Micro Analyzer) JEOL JXA-8900L型

設置場所:
理学部1号館中央棟 地下1階 B136室 「EPMA分析室」

原理と特徴:
1ミクロンまで絞った電子線を試料に照射し,固体物質表面と電子の相互作用により,発生する特性X線を検出し,試料を破壊することなく,構成元素の種類, 含有量,分布状態を多角的に調べることができる.本装置は波長分散型X線検出器(WDS)をそれぞれの装置で5台ずつ搭載しており,さらに1台にはエネル ギー分散型X線検出器(EDS)も装備されている.極めて小さな領域から得られる組成情報を用いて,マグマの中での結晶成長や,宇宙空間での固体物質の形 成など物質進化に関する情報を得ることができる.また材料科学の評価に用いられる.

装置担当者:
吉田英人 Tel: 24528 yoshida[@]eps.s.u-tokyo.ac.jp

EPMA