分析用電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM)

共用機器番号:4
装置名:
後方散乱電子線回折装置つき電界放射型走査電子顕微鏡 JEOL JSM-7000F

設置場所:
理学部1号館中央棟 地下2階 B238室 「走査電子顕微鏡室」

原理と特徴:
電界放射型走査電子顕微鏡は,高真空で試料に電子線を試料表面照射,走査し,発生する2次電子や後方散乱電子などを検出器にとらえ, 数10ナノメートル程度までの分解能で,試料の表面状態や形状,密度などの情報を面的にとらえるための装置である.主に岩石や鉱物の微細組織の観察に用いられる.エネルギー分散型分光計の併用により,局所あるいは2次元的な多元素の分布を知ることができる.さらに,後方散乱電子線回折は,微細領域における結晶の方位を決定することのできる装置である.この装置により,微細領域の化学的・岩石・鉱物構造的情報をえることができるため,地球や惑星, 隕石などの試料,あるいは実験により合成された物質の構造,化学的特徴などを知ることに応用されている.本装置は2005年4月に導入されたばかりの装置であるため,当面,主に科研費によるプロジェクトの推進に使用している.

装置担当者:
吉田英人 Tel: 24528 yoshida[@]eps.s.u-tokyo.ac.jp

 FE-SEM