高分解能電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM)
共用機器番号：3
装置名：
冷陰極電界放射型走査電子顕微鏡 Hitachi S-4500
設置場所：
理学部1号館中央棟 地下2階 B238室「走査電子顕微鏡室」
原理と特徴：
冷陰極電界放射型の電子銃を搭載した走査電子顕微鏡（SEM）で，この電子銃の高輝度と低エネルギー幅により10万倍以上の高分解能観察が可能．同時にこ の電子顕微鏡は，以下の6つの信号検出器を試料室の周囲の配置し，試料から様々な情報を得ることができる．
(1)上方二次電子検出器 (2)下方二次電子検出器 (3)高感度反射電子（BSE）検出器 (4)エネルギー分散型X線（EDS）検出器 (5)二次元後方反射電子回折（EBSD）検出器 (6)半導体型前方反射電子（FSE）検出器
装置担当者：
市村康治 Tel: 24557 ichimura[@]eps.s.u-tokyo.ac.jp
